北方微电子

北方微电子成立于2001年，是一家专业从事高端工艺设备研发与生产的本土微电子装备制造企业。自成立以来，北方微电子肩负发展民族产业之重任，以推进高端微电子装备国产化为使命，通过实施国家科技重大专项，实现了我国高端微电子装备的技术提升，在多个技术领域实现了重大突破。

公司通过十余年的发展，在泛半导体领域形成了Etch、PVD和CVD三大类技术，十余个系列，三十余个型号的产品。其中IC领域包括8／12英寸高密度等离子硅刻蚀机，12英寸铜互连和硬掩模PVD设备；LED领域包括PSS和GaN ICP刻蚀机、ITO sputter、DBR/ODR sputter、AlN sputter等，MEMS和先进封装领域包括深硅刻蚀机、通用型刻蚀机、TSV\UMB\RDL封装用PVD、通用型PVD设备和硅外延设备等。